Difference between revisions of "Vacuum Deposition Recipes"

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! width="75" bgcolor="#D0E7FF" align="center" | SiO<sub>x</sub>N<sub>y</sub>
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! width="75" bgcolor="#D0E7FF" align="center" | Sn
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|-
 
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|-
 
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|-
 
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! width="75" bgcolor="#D0E7FF" align="center" | Ti
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|-
  
|-
 
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! width="75" bgcolor="#D0E7FF" align="center" | TiN
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|-
  
|-
 
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! width="75" bgcolor="#D0E7FF" align="center" | TiO<sub>2</sub>
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|-
 
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|-
 
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! width="75" bgcolor="#D0E7FF" align="center" | W
−
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 +
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−
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 +
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−
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−
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−
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|-
  
|-
 
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! width="75" bgcolor="#D0E7FF" align="center" | Zn
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|
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|-
  
|-
 
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|-
  
|-
 
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! width="75" bgcolor="#D0E7FF" align="center" | ZrO<sub>2</sub>
−
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 +
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−
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 +
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 +
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 +
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| bgcolor="EEFFFF" |
−
|-
  
 
|}
  
|}
  +
−
=Recipes=
 +
= Recipes =
⚫
==E-Beam Evaporation==
  
  +
⚫
===Recipe 1===
  
  ⚫
== E-Beam Evaporation ==
⚫
#Step 1 ....
  
  +
  ⚫
=== Recipe 1 ===
  +
  ⚫
#Step 1 ....
 
#Step 2...
  
#Step 2...
   
−
===Recipe 2===
 +
=== Recipe 2 ===
   
−
==Sputtering==
 +
== Sputtering ==
   
−
==Thermal Evaporation==
 +
== Thermal Evaporation ==
   
−
== Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) ==
 +
== Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) ==
   
−
=== SiN deposition ===
 +
=== SiN deposition (PECVD #1) ===
   
 
#'''Clean''' (30CLN_SN)
 
#'''Clean''' (30CLN_SN)
−
##Initial t=10", p=2x10-2, T=250C
 +
##Initial t=10", p=2x10-2, T=250C
−
##N2 Purge t=30", p=300mT
 +
##N2 Purge t=30", p=300mT
−
##evacuate, base pressure=2x10-2, t=10"
 +
##evacuate, base pressure=2x10-2, t=10"
−
##loop
 +
##loop
−
##gas stabilization, t=30"
 +
##gas stabilization, t=30"
−
##etch chamber, t=30'
 +
##etch chamber, t=30'
−
##evacuate, t=10"
 +
##evacuate, t=10"
−
##N2 purge
 +
##N2 purge
−
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 +
##evacuate
−
##loop
 +
##loop
−
##SiN gas stabilization
 +
##SiN gas stabilization
−
##SiN deposition( 200A coat)
 +
##SiN deposition( 200A coat)
−
##evacuate
 +
##evacuate
−
##N2purge, t=30"
 +
##N2purge, t=30"
−
##end
 +
##end
−
#'''SiN deposition''' (SiN_10) 130.8 A/min
 +
#'''SiN deposition''' (SiN_10) 130.8 A/min
−
##Initial t=10"
 +
##Initial t=10"
−
##N2 purge t=30"
 +
##N2 purge t=30"
−
##evacuate, t=10"
 +
##evacuate, t=10"
−
##loop
 +
##loop
−
##SiN gas stabilization, t=30"
 +
##SiN gas stabilization, t=30"
−
##SiN deposition t=8'11.2"
 +
##SiN deposition t=8'11.2"
−
##evacuate, t=10"
 +
##evacuate, t=10"
−
##N2 purge t=30"
 +
##N2 purge t=30"
−
##evacuate t=10"
 +
##evacuate t=10"
 
##loop
  
##loop
   
−
==Atomic Layer Deposition (ALD)==
 +
== Atomic Layer Deposition (ALD) ==
   
−
==Ion-Beam Deposition (IBD)==
 +
== Ion-Beam Deposition (IBD) ==
   
−
==Molecular Vapor Deposition (MVD)==
 +
== Molecular Vapor Deposition (MVD) ==

Revision as of 13:11, 9 July 2012

This table can be used to help located the needed recipe.

Vacuum Deposition Recipes

 E-Beam Evaporation Sputtering Thermal Evaporation Plasma Enhanced Chemical
Vapor Deposition (PECVD) 		Atomic Layer Deposition Ion-Beam Deposition (IBD) Molecular Vapor Deposition
Material E-Beam 1 (Sharon) E-Beam 2 (Custom) E-Beam 3 (Temescal) E-Beam 4 (CHA) Sputter 1 (Custom) Sputter 2
(SFI Endeavor) 		Sputter 3 Sputter 4 Sputter 5 (Lesker AXXIS) Thermal 1 Thermal 2 PECVD 1
(PlasmaTherm 790) 		PECVD 2
(Advanced Vacuum) 		Unaxis VLR ICP-PECVD
Ag Y
Al
















Al2O3
AlN
















Au
B
















Co
Cr
















Cu
Fe
















Ge
Hf
















HfO2
In
















Ir
ITO
Mo
Bn
Ni
Pd
Pt
Ru
Si
SiN Y
SiO2
SiOxNy
Sn
SrF2
Ta
Ta2O5
Ti
TiN
TiO2
V
W
Zn
ZnO2
Zr
ZrO2

Recipes

E-Beam Evaporation

Recipe 1

  1. Step 1 ....
  2. Step 2...

Recipe 2

Sputtering

Thermal Evaporation

Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD)

SiN deposition (PECVD #1)

  1. Clean (30CLN_SN)
    1. Initial t=10", p=2x10-2, T=250C
    2. N2 Purge t=30", p=300mT
    3. evacuate, base pressure=2x10-2, t=10"
    4. loop
    5. gas stabilization, t=30"
    6. etch chamber, t=30'
    7. evacuate, t=10"
    8. N2 purge
    9. evacuate
    10. loop
    11. SiN gas stabilization
    12. SiN deposition( 200A coat)
    13. evacuate
    14. N2purge, t=30"
    15. end
  2. SiN deposition (SiN_10) 130.8 A/min
    1. Initial t=10"
    2. N2 purge t=30"
    3. evacuate, t=10"
    4. loop
    5. SiN gas stabilization, t=30"
    6. SiN deposition t=8'11.2"
    7. evacuate, t=10"
    8. N2 purge t=30"
    9. evacuate t=10"
    10. loop

Atomic Layer Deposition (ALD)

Ion-Beam Deposition (IBD)

Molecular Vapor Deposition (MVD)

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