Difference between revisions of "Vacuum Deposition Recipes"

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Revision as of 10:47, 6 September 2012

Vacuum Deposition Recipes

 E-Beam Evaporation Sputtering Thermal Evaporation Plasma Enhanced Chemical
Vapor Deposition (PECVD) 		Atomic Layer Deposition Ion Beam Deposition (IBD) Molecular Vapor Deposition
Material E-Beam 1 (Sharon) E-Beam 2 (Custom) E-Beam 3 (Temescal) E-Beam 4 (CHA) Sputter 1 (Custom) Sputter 2
(SFI Endeavor) 		Sputter 3
(ATC 2000-F) 		Sputter 4
(ATC 2200-V) 		Sputter 5 (Lesker AXXIS) Thermal Evap 1 Thermal Evap 2 (Solder) PECVD 1
(PlasmaTherm 790) 		PECVD 2
(Advanced Vacuum) 		Unaxis VLR ICP-PECVD Atomic Layer Deposition (Tool) Ion Beam
Deposition (Tool) 		Molecular Vapor Deposition (Tool)
Ag
















Al
















Al2O3
















AlN
















Au
















B
















Co
















Cr
















Cu
















Fe
















Ge
















Hf
















HfO2
















In
















Ir
















ITO
















Mo
















Nb
















Ni
















Pd
















Pt
















Ru
















Si
















SiN










R R R


SiO2










R R R
R
SiOxNy
















Sn
















SrF2
















Ta
















Ta2O5
















Ti
















TiN
















TiO2
















V
















W
















Zn
















ZnO2
















Zr
















ZrO2
















Material E-Beam 1 (Sharon) E-Beam 2 (Custom) E-Beam 3 (Temescal) E-Beam 4 (CHA) Sputter 1 (Custom) Sputter 2
(SFI Endeavor) 		Sputter 3
(ATC 2000-F) 		Sputter 4
(ATC 2200-V) 		Sputter 5 (Lesker AXXIS) Thermal Evap 1 Thermal Evap 2 (Solder) PECVD 1
(PlasmaTherm 790) 		PECVD 2
(Advanced Vacuum) 		Unaxis VLR ICP-PECVD Atomic Layer Deposition (Tool) Ion Beam
Deposition (Tool) 		Molecular Vapor Deposition (Tool)
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