Difference between revisions of "Vacuum Deposition Recipes"

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{{Recipe Table Explanation}}
  
{{Recipe Table Explanation}}
−
{| border="1" class="wikitable" style="border: 1px solid #D0E7FF; background-color:#ffffff; text-align:center;"
 +
{| class="wikitable" style="border: 1px solid #D0E7FF; background-color:#ffffff; text-align:center;" border="1"
−
|- bgcolor="#D0E7FF"
 +
|- bgcolor="#d0e7ff"
−
! width="1675" height="45" colspan="18" | <div style="font-size: 150%;">Vacuum Deposition Recipes</div>
 +
! colspan="16" width="1675" height="45" |<div style="font-size: 150%;">Vacuum Deposition Recipes</div>
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|- bgcolor="#D0E7FF"
 +
|- bgcolor="#d0e7ff"
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| <!-- INTENTIONALLY LEFT BLANK --> <br>
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|<!-- INTENTIONALLY LEFT BLANK --><br>
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! bgcolor="#D0E7FF" align="center" colspan="4" | '''[[E-Beam Evaporation Recipes|E-Beam Evaporation]]'''
+
! colspan="4" bgcolor="#d0e7ff" align="center" |'''[[E-Beam Evaporation Recipes|E-Beam Evaporation]]'''
−
! bgcolor="#D0E7FF" align="center" colspan="6" | '''[[Sputtering Recipes|Sputtering]]'''
+
! colspan="4" |'''[[Sputtering Recipes|Sputtering]]'''
−
! bgcolor="#D0E7FF" align="center" colspan="2" | '''[[Thermal Evaporation Recipes|Thermal Evaporation]]'''
+
! colspan="2" bgcolor="#d0e7ff" align="center" |'''[[Thermal Evaporation Recipes|Thermal Evaporation]]'''
−
! bgcolor="#D0E7FF" align="center" colspan="3" | '''[[PECVD Recipes|Plasma Enhanced Chemical<br>Vapor Deposition (PECVD)]]'''
+
! colspan="3" bgcolor="#d0e7ff" align="center" |'''[[PECVD Recipes|Plasma Enhanced Chemical<br>Vapor Deposition (PECVD)]]'''
−
! width="90" bgcolor="#D0E7FF" align="center" | '''[[Atomic Layer Deposition Recipes|Atomic Layer Deposition]]'''
+
! width="90" bgcolor="#d0e7ff" align="center" |'''[[Atomic Layer Deposition Recipes|Atomic Layer Deposition]]'''
−
! width="80" bgcolor="#D0E7FF" align="center" | '''[[Molecular Vapor Deposition Recipes|Molecular Vapor Deposition]]'''
 +
! width="80" bgcolor="#d0e7ff" align="center" |'''[[Molecular Vapor Deposition Recipes|Molecular Vapor Deposition]]'''
 
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! width="20" bgcolor="#D0E7FF" align="center" | '''Material'''
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! width="20" bgcolor="#d0e7ff" align="center" |'''Material'''
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| width="65" bgcolor="#DAF1FF" | [[E-Beam Evaporation Recipes#E-Beam_1_.28Sharon.29|E-Beam 1 (Sharon)]]
+
| width="65" bgcolor="#daf1ff" |[[E-Beam Evaporation Recipes#E-Beam_1_.28Sharon.29|E-Beam 1 (Sharon)]]
−
| width="65" bgcolor="#DAF1FF" | [[E-Beam Evaporation Recipes#E-Beam_2_.28Custom.29|E-Beam 2 (Custom)]]
+
| width="65" bgcolor="#daf1ff" |[[E-Beam Evaporation Recipes#E-Beam_2_.28Custom.29|E-Beam 2 (Custom)]]
−
| width="65" bgcolor="#DAF1FF" | [[E-Beam Evaporation Recipes#E-Beam_3_.28Temescal.29|E-Beam 3 (Temescal)]]
+
| width="65" bgcolor="#daf1ff" |[[E-Beam Evaporation Recipes#E-Beam_3_.28Temescal.29|E-Beam 3 (Temescal)]]
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| width="65" bgcolor="#DAF1FF" | [[E-Beam Evaporation Recipes#E-Beam_4_.28CHA.29|E-Beam 4 (CHA)]]
+
| width="65" bgcolor="#daf1ff" |[[E-Beam Evaporation Recipes#E-Beam_4_.28CHA.29|E-Beam 4 (CHA)]]
−
| width="65" bgcolor="#DAF1FF" | [[Sputtering Recipes#Sputter_1_.28Custom.29|Sputter 1 (Custom)]]
+
| width="65" bgcolor="#daf1ff" |[[Sputtering_Recipes#Sputter_3_.28AJA_ATC_2000-F.29|Sputter 3<br>(AJA ATC 2000-F)]]
−
| width="65" bgcolor="#DAF1FF" | [[Sputtering Recipes#Sputter_2_.28SFI_Endeavor.29|Sputter 2<br>(SFI Endeavor)]]
+
| width="65" bgcolor="#daf1ff" |[[Sputtering_Recipes#Sputter_4_.28AJA_ATC_2200-V.29|Sputter 4<br>(AJA ATC 2200-V)]]
−
| width="65" bgcolor="#DAF1FF" | [[Sputtering_Recipes#Sputter_3_.28AJA_ATC_2000-F.29|Sputter 3<br>(ATC 2000-F)]]
+
| width="65" bgcolor="#daf1ff" |[https://wiki.nanotech.ucsb.edu/wiki/index.php/Sputtering_Recipes#Sputter_5_.28AJA_ATC_2200-V.29 Sputter 5 (AJA ATC 2200-V)]
−
| width="65" bgcolor="#DAF1FF" | [[Sputtering_Recipes#Sputter_4_.28AJA_ATC_2200-V.29|Sputter 4<br>(ATC 2200-V)]]
+
| width="55" bgcolor="#daf1ff" |[[Sputtering_Recipes#Ion_Beam_Deposition_.28Veeco_NEXUS.29|Ion Beam<br>Deposition (Veeco Nexus)]]
−
| width="65" bgcolor="#DAF1FF" | [[Sputtering Recipes#Sputter_5_.28Lesker_AXXIS.29|Sputter 5 (Lesker AXXIS)]]
+
| width="45" bgcolor="#daf1ff" |[[Thermal Evaporation Recipes#Thermal_Evap_1|Thermal<br>Evap 1]]
−
| width="55" bgcolor="#DAF1FF" | [[Sputtering_Recipes#Ion_Beam_Deposition_.28Veeco_NEXUS.29|Ion Beam<br>Deposition (Veeco Nexus)]]
+
| width="65" bgcolor="#daf1ff" |[[Thermal Evaporation Recipes#Thermal_Evap_2_.28Solder.29|Thermal Evap 2 (Solder)]]
−
| width="45" bgcolor="#DAF1FF" | [[Thermal Evaporation Recipes#Thermal_Evap_1|Thermal<br>Evap 1]]
+
| width="65" bgcolor="#daf1ff" |[[PECVD Recipes#PECVD_1_.28PlasmaTherm_790.29|PECVD 1<br>(PlasmaTherm 790)]]
−
| width="65" bgcolor="#DAF1FF" | [[Thermal Evaporation Recipes#Thermal_Evap_2_.28Solder.29|Thermal Evap 2 (Solder)]]
+
| width="65" bgcolor="#daf1ff" |[[PECVD Recipes#PECVD_2_.28Advanced_Vacuum.29|PECVD 2<br>(Advanced Vacuum)]]
−
| width="65" bgcolor="#DAF1FF" | [[PECVD Recipes#PECVD_1_.28PlasmaTherm_790.29|PECVD 1<br>(PlasmaTherm 790)]]
+
| width="65" bgcolor="#daf1ff" |[[PECVD_Recipes#ICP-PECVD_.28Unaxis_VLR.29|Unaxis VLR ICP-PECVD]]
−
| width="65" bgcolor="#DAF1FF" | [[PECVD Recipes#PECVD_2_.28Advanced_Vacuum.29|PECVD 2<br>(Advanced Vacuum)]]
+
| width="65" bgcolor="#daf1ff" |[[Atomic_Layer_Deposition_Recipes|Atomic Layer Deposition (Oxford FlexAL)]]
−
| width="65" bgcolor="#DAF1FF" | [[PECVD_Recipes#ICP-PECVD_.28Unaxis_VLR.29|Unaxis VLR ICP-PECVD]]
+
| width="65" bgcolor="#daf1ff" |[[Molecular Vapor Deposition|Molecular Vapor Deposition (Tool)]]
−
| width="65" bgcolor="#DAF1FF" | [[Atomic_Layer_Deposition_Recipes|Atomic Layer Deposition (Oxford FlexAL)]]
 
−
| width="65" bgcolor="#DAF1FF" | [[Molecular Vapor Deposition|Molecular Vapor Deposition (Tool)]]
  
 
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−
! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | Ag
+
! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |Ag
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| bgcolor="EEFFFF" | {{Al/E1}}
+
| bgcolor="#eeffff" |{{Al/E1}}
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
+
| bgcolor="#eeffff" |<br>
−
| bgcolor="EEFFFF" | {{Al/E3}}
+
| bgcolor="#eeffff" |{{Al/E3}}
−
| bgcolor="EEFFFF" | {{Al/E4}}
+
| bgcolor="#eeffff" |{{Al/E4}}
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
+
| bgcolor="#eeffff" |[[Sputtering Recipes|A]]
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
+
| bgcolor="#eeffff" |[[Sputtering Recipes|A]]
−
| bgcolor="EEFFFF" | [[Sputtering Recipes|A]]
 +
| bgcolor="#eeffff" |<br>
−
| bgcolor="EEFFFF" | [[Sputtering Recipes|A]]
+
| bgcolor="#eeffff" |<br>
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
  
 
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! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | Al
+
! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |Al
−
| {{Al/E1}}
+
|{{Al/E1}}
−
| <br>
+
|<br>
−
| {{Al/E3}}
+
|{{Al/E3}}
−
| {{Al/E4}}
+
|{{Al/E4}}
  +
|[[Sputtering Recipes|A]]
−
| <br>
 
−
| {{rl|Sputtering Recipes|Al deposition (Sputter 2)}}
 +
|{{rl|Sputtering Recipes|Al Deposition (Sputter 4)}}
  +
|<br>
−
| [[Sputtering Recipes|A]]
 
  +
|<br>[[Sputtering_Recipes#Ion_Beam_Deposition_.28Veeco_NEXUS.29|A]]
−
| [[Sputtering Recipes|R]]
 
  +
|[[Thermal Evaporation Recipes|A]]
−
| <br>
 
  +
|[[Thermal Evaporation Recipes|A]]
−
| <br>
 
  +
|<br>
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| [[Thermal Evaporation Recipes|A]]
 
  +
|<br>
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| [[Thermal Evaporation Recipes|A]]
  
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| <br>
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|<br>
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| <br>
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| <br>
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|<br>
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| <br>
 
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! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>
+
! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>
−
| bgcolor="EEFFFF" | {{Al/E1}}
+
| bgcolor="#eeffff" |{{Al/E1}}
−
| bgcolor="EEFFFF" | {{Al/E2}}
+
| bgcolor="#eeffff" |{{Al/E2}}
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
+
| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
+
| bgcolor="#eeffff" |[[Sputtering Recipes|A]]
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |{{rl|Sputtering Recipes|Al2O3 Deposition (Sputter 4)}}
−
| bgcolor="EEFFFF" | [[Sputtering Recipes|A]]
+
| bgcolor="#eeffff" |<br>
  +
| bgcolor="#eeffff" |[https://wiki.nanotech.ucsb.edu/wiki/index.php/Sputtering_Recipes#Al2O3_deposition_.28IBD.29 R]
−
| bgcolor="EEFFFF" | [[Sputtering Recipes|A]]
 
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
+
| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | [[Sputtering_Recipes#Ion_Beam_Deposition_.28Veeco_NEXUS.29|A]]
  
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="#eeffff" |{{rl|Atomic Layer Deposition Recipes|Al2O3 deposition (ALD CHAMBER 3)}}
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | {{rl|Atomic Layer Deposition Recipes|Al2O3 deposition (ALD)}}
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
  
 
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! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | AlN
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! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |AlN
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| <br>
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|<br>
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| <br>
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|<br>
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| <br>
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|<br>
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| <br>
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|<br>
  +
|[[Sputtering Recipes|A]]
−
| <br>
 
−
| {{rl|Sputtering Recipes|AlN deposition (Sputter 2)}}
 +
|[[Sputtering Recipes|A]]
  +
|<br>
−
| [[Sputtering Recipes|A]]
 
  +
|[[Sputtering_Recipes#Ion_Beam_Deposition_.28Veeco_NEXUS.29|A]]
−
| [[Sputtering Recipes|A]]
 
−
| <br>
+
|<br>
  +
|<br>
−
| [[Sputtering_Recipes#Ion_Beam_Deposition_.28Veeco_NEXUS.29|A]]
 
−
| <br>
+
|<br>
−
| <br>
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|<br>
−
| <br>
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|<br>
  +
|{{rl|Atomic Layer Deposition Recipes|AlN deposition (ALD CHAMBER 3)}}
−
| <br>
 
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| <br>
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|<br>
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| {{rl|Atomic Layer Deposition Recipes|AlN deposition (ALD)}}
 
−
| <br>
  
 
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−
! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | Au
+
! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |Au
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| bgcolor="EEFFFF" | {{Al/E1}}
+
| bgcolor="#eeffff" |{{Al/E1}}
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
+
| bgcolor="#eeffff" |<br>
−
| bgcolor="EEFFFF" | {{Al/E3}}
+
| bgcolor="#eeffff" |{{Al/E3}}
−
| bgcolor="EEFFFF" | {{Al/E4}}
+
| bgcolor="#eeffff" |{{Al/E4}}
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
+
| bgcolor="#eeffff" |[[Sputtering Recipes|A]]
−
| bgcolor="EEFFFF" | {{rl|Sputtering Recipes|Au deposition (Sputter 2)}}
+
| bgcolor="#eeffff" |{{rl|Sputtering Recipes|Ti-Au Deposition (Sputter 4)}}
−
| bgcolor="EEFFFF" | [[Sputtering Recipes|A]]
 +
| bgcolor="#eeffff" |<br>
  +
| bgcolor="#eeffff" |<br>
−
| bgcolor="EEFFFF" | {{rl|Sputtering Recipes|Ti-Au Deposition (Sputter 4)}}
  
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
+
| bgcolor="#eeffff" |[[Thermal Evaporation Recipes|A]]
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
+
| bgcolor="#eeffff" |[[Thermal Evaporation Recipes|A]]
−
| bgcolor="EEFFFF" | [[Thermal Evaporation Recipes|A]]
+
| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | [[Thermal Evaporation Recipes|A]]
+
| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
  
 
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! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | B
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! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |B
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| <br>
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|<br>
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| <br>
 
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| <br>
  
 
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−
! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | CeO<sub>2</sub>
+
! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |C
  +
| bgcolor="#eeffff" align="center" |{{rl|E-Beam Evaporation Recipes|Materials Table (E-Beam #1)}}
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
  +
| bgcolor="#eeffff" align="center" |
−
| bgcolor="EEFFFF" | {{rl|E-Beam Evaporation Recipes|E-Beam 2 (Custom)|CeO<sub>2</sub> deposition (E-Beam 2)}}
  
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
+
| bgcolor="#eeffff" align="center" |
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" align="center" |
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
+
| bgcolor="#eeffff" align="center" |
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" align="center" |
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" align="center" |
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
+
| bgcolor="#eeffff" align="center" |
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" align="center" |
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
+
| bgcolor="#eeffff" align="center" |
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
+
| bgcolor="#eeffff" align="center" |
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
+
| bgcolor="#eeffff" align="center" |
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
+
| bgcolor="#eeffff" align="center" |
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
+
| bgcolor="#eeffff" align="center" |
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" align="center" |
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
  
 
|-
  
|-
−
! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | Co
+
! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |CeO<sub>2</sub>
−
| bgcolor="EEFFFF" | {{Al/E1}}
+
| bgcolor="#eeffff" |<br>
  +
| bgcolor="#eeffff" |{{rl|E-Beam Evaporation Recipes|E-Beam 2 (Custom)|CeO<sub>2</sub> deposition (E-Beam 2)}}
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
+
| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | {{Al/E4}}
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
+
| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | [[Sputtering Recipes|R]]
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
  
 
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! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | Cr
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! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |Co
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| {{Al/E1}}
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| bgcolor="#eeffff" |{{Al/E1}}
−
| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
−
| {{Al/E4}}
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| bgcolor="#eeffff" |{{Al/E4}}
  +
| bgcolor="#eeffff" |[[Sputtering Recipes|R]]
−
| <br>
 
−
| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
  +
| bgcolor="#eeffff" |<br>
−
| [[Sputtering Recipes|R]]
 
−
| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
−
| <br>
+
| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
  +
| bgcolor="#eeffff" |<br>
−
| [[Thermal Evaporation Recipes|A]]
 
  +
| bgcolor="#eeffff" |<br>
−
| [[Thermal Evaporation Recipes|A]]
 
−
| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| <br>
 
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! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | Cu
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! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |Cr
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| bgcolor="EEFFFF" | {{Al/E1}}
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|{{Al/E1}}
  +
|<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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|<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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|{{Al/E4}}
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
  +
|[https://wiki.nanotech.ucsb.edu/wiki/index.php/Sputtering_Recipes#Sputter_3_.28AJA_ATC_2000-F.29 R]
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
  +
|<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
  +
|<br>
−
| bgcolor="EEFFFF" | [[Sputtering Recipes|A]] {{rl|Sputtering Recipes|Sputter 3 (AJA ATC 2000-F)}}
  
  +
|<br>
−
| bgcolor="EEFFFF" | [[Sputtering Recipes|A]]
 
  +
|[[Thermal Evaporation Recipes|A]]
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
  +
|[[Thermal Evaporation Recipes|A]]
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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|<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
  
 
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! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | Fe
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! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |Cu
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| {{Al/E1}}
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| bgcolor="#eeffff" |{{Al/E1}}
−
| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| <br>
+
| bgcolor="#eeffff" |<br>
  +
| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| {{Al/E4}}
 
  +
| bgcolor="#eeffff" |{{rl|Sputtering Recipes|Sputter 3 (AJA ATC 2000-F)}}
−
| <br>
 
  +
| bgcolor="#eeffff" |[[Sputtering Recipes|A]]
−
| <br>
 
  +
| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| [[Sputtering Recipes|R]]
 
−
| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| <br>
 
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! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | Ge
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! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |Fe
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| bgcolor="EEFFFF" | {{Al/E1}}
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|{{Al/E1}}
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|<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
  +
|<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | {{Al/E3}}
 
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| bgcolor="EEFFFF" | {{Al/E4}}
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|{{Al/E4}}
  +
|[[Sputtering Recipes|R]]
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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|<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
  +
|<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | [[Sputtering Recipes|A]]
 
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|<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | [[Sputtering Recipes|A]]
 
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|<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
  
 
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−
! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | GeO<sub>2</sub>
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! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |Ge
  +
| bgcolor="#eeffff" |{{Al/E1}}
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  +
| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| {{Al/E2}}
 
  +
| bgcolor="#eeffff" |{{Al/E3}}
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| bgcolor="#eeffff" |{{Al/E4}}
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  +
| bgcolor="#eeffff" |[[Sputtering Recipes|A]]
−
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  +
| bgcolor="#eeffff" |[[Sputtering Recipes|A]]
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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  +
| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | Gd
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! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |GeO<sub>2</sub>
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| bgcolor="EEFFFF" | {{Al/E1}}
 
  +
|{{Al/E2}}
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | {{Al/E4}}
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
  
 
|-
  
|-
−
! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | Hf
+
! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |Gd
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| bgcolor="EEFFFF" | {{Al/E1}}
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| bgcolor="#eeffff" |{{Al/E1}}
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |{{Al/E4}}
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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|-
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! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | HfO<sub>2</sub>
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! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |Hf
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| bgcolor="#eeffff" |{{Al/E1}}
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| <br>
 
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| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| [[Sputtering Recipes|A]]
 
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
−
| [[Sputtering Recipes|A]]
 
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| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| {{rl|Atomic Layer Deposition Recipes|HfO2 deposition (ALD)}}
 
−
| <br>
  
 
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! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | In
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! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |HfO<sub>2</sub>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
  +
|[[Sputtering Recipes|A]]
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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|[[Sputtering Recipes|A]]
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | [[Thermal Evaporation Recipes|A]]
 
  +
|<br>
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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|{{rl|Atomic Layer Deposition Recipes|HfO2 deposition (ALD CHAMBER 3)}}
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
  
 
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|-
−
! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | Ir
+
! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |In
  +
| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| {{Al/E1}}
 
−
| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
−
| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
−
| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
−
| <br>
+
| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="#eeffff" |[[Thermal Evaporation Recipes|A]]
−
| <br>
 
−
| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
−
| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
−
| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
−
| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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−
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|-
  
|-
−
! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | ITO
+
! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |Ir
  +
|{{Al/E1}}
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
  +
|<br>
−
| bgcolor="EEFFFF" | {{rl|E-Beam Evaporation Recipes|E-Beam 2 (Custom)|ITO deposition (E-Beam 2)}}
  
  +
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−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
  +
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
  +
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| bgcolor="EEFFFF" | [[Sputtering Recipes|A]]
 
  +
|<br>
−
| bgcolor="EEFFFF" | [[Sputtering Recipes|A]]
 
  +
|<br>
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
  +
|<br>
−
| bgcolor="EEFFFF" | [[Sputtering_Recipes#Ion_Beam_Deposition_.28Veeco_NEXUS.29|A]]
 
  +
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
  
 
|-
  
|-
−
! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | MgF2
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! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |ITO
  +
| bgcolor="#eeffff" |<br>
−
|
 
  +
| bgcolor="#eeffff" |{{rl|E-Beam Evaporation Recipes|E-Beam 2 (Custom)|ITO deposition (E-Beam 2)}}
−
|
 
  +
| bgcolor="#eeffff" |<br>
−
|
 
  +
| bgcolor="#eeffff" |<br>
−
|
 
  +
| bgcolor="#eeffff" |[[Sputtering Recipes|A]]
−
|
 
  +
| bgcolor="#eeffff" |[[Sputtering Recipes|A]]
−
|
 
  +
| bgcolor="#eeffff" |<br>
−
| [[Sputtering Recipes|A]]
  
  +
| bgcolor="#eeffff" |[[Sputtering_Recipes#Ion_Beam_Deposition_.28Veeco_NEXUS.29|A]]
−
| [[Sputtering Recipes|A]]
  
  +
| bgcolor="#eeffff" |<br>
−
|
 
  +
| bgcolor="#eeffff" |<br>
−
|
 
  +
| bgcolor="#eeffff" |<br>
−
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
−
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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|-
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! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | MgO
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! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |MgF2
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| {{Al/E2}}
 
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|[[Sputtering Recipes|A]]
−
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|[[Sputtering Recipes|A]]
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|-
−
! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | Mo
+
! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |MgO
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−
| bgcolor="EEFFFF" | {{Al/E1}}
 
  +
|{{Al/E2}}
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
  
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−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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−
| bgcolor="EEFFFF" | [[Sputtering Recipes|R]]
  
  +
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−
| bgcolor="EEFFFF" | [[Sputtering Recipes|A]]
 
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−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
  
 
|-
  
|-
−
! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | Nb
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! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |Mo
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| {{Al/E1}}
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| bgcolor="#eeffff" |{{Al/E1}}
−
| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| <br>
+
| bgcolor="#eeffff" |<br>
−
| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="#eeffff" |[[Sputtering Recipes|R]]
−
| <br>
 
  +
| bgcolor="#eeffff" |[[Sputtering Recipes|A]]
−
| <br>
 
−
| <br>
+
| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
−
| [[Sputtering Recipes|R]]
 
−
| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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|-
−
! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | Nd
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! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |Nb
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|{{Al/E1}}
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| <br>
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| <br>
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|<br>
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|[[Sputtering Recipes|R]]
−
| <br>
 
−
| <br>
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|<br>
  +
|<br>
−
| [[Sputtering Recipes|A]]
 
−
| <br>
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| <br>
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| <br>
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|-
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! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | Ni
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! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |Nd
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| bgcolor="EEFFFF" | {{Al/E1}}
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | {{Al/E3}}
 
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| bgcolor="EEFFFF" | {{Al/E4}}
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
  +
|[[Sputtering Recipes|A]]
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
  +
|<br>
−
| bgcolor="EEFFFF" | {{rl|Sputtering Recipes|Sputter 3 (AJA ATC 2000-F)}}
 
  +
|<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | [[Thermal Evaporation Recipes|A]]
 
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| bgcolor="EEFFFF" | [[Thermal Evaporation Recipes|A]]
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
  
 
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|-
−
! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | NiCr
 +
! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |Ni
−
| {{Al/E1}}
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| bgcolor="#eeffff" |{{Al/E1}}
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
−
|
 
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| bgcolor="#eeffff" |{{Al/E3}}
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−
| {{Al/E4}}
+
| bgcolor="#eeffff" |{{Al/E4}}
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| bgcolor="#eeffff" |{{rl|Sputtering Recipes|Sputter 3 (AJA ATC 2000-F)}}
−
|
 
  +
| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="#eeffff" |[[Thermal Evaporation Recipes|A]]
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| bgcolor="#eeffff" |[[Thermal Evaporation Recipes|A]]
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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|-
−
! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | NiFe
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! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |NiCr
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| bgcolor="EEFFFF" | {{Al/E1}}
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|{{Al/E1}}
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| bgcolor="EEFFFF" |
 
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| bgcolor="EEFFFF" |
 
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| bgcolor="EEFFFF" | {{Al/E4}}
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|{{Al/E4}}
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| bgcolor="EEFFFF" |
 
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| bgcolor="EEFFFF" |
 
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| bgcolor="EEFFFF" | [[Sputtering Recipes|A]]
  
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| bgcolor="EEFFFF" |
 
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| bgcolor="EEFFFF" |
 
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| bgcolor="EEFFFF" |
 
 
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! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | Pd
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! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |NiFe
−
| {{Al/E1}}
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| bgcolor="#eeffff" |{{Al/E1}}
  +
| bgcolor="#eeffff" |
−
| <br>
 
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| bgcolor="#eeffff" |
−
| {{Al/E3}}
 
−
| {{Al/E4}}
+
| bgcolor="#eeffff" |{{Al/E4}}
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| bgcolor="#eeffff" |[[Sputtering Recipes|A]]
−
| <br>
 
  +
| bgcolor="#eeffff" |
−
| <br>
 
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| bgcolor="#eeffff" |
−
| <br>
 
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| bgcolor="#eeffff" |
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| <br>
 
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| bgcolor="#eeffff" |
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| <br>
 
  +
| bgcolor="#eeffff" |
−
| <br>
 
  +
| bgcolor="#eeffff" |
−
| [[Thermal Evaporation Recipes|A]]
 
  +
| bgcolor="#eeffff" |
−
| [[Thermal Evaporation Recipes|A]]
 
  +
| bgcolor="#eeffff" |
−
| <br>
 
  +
| bgcolor="#eeffff" |
−
| <br>
 
  +
| bgcolor="#eeffff" |
−
| <br>
 
−
| <br>
 
−
| <br>
  
 
|-
  
|-
−
! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | Pt
+
! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |Pd
−
| bgcolor="EEFFFF" | {{Al/E1}}
+
|{{Al/E1}}
  +
|<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | {{Al/E3}}
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|{{Al/E3}}
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| bgcolor="EEFFFF" | {{Al/E4}}
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|{{Al/E4}}
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|<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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|<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
  +
|<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | [[Sputtering Recipes|A]]
 
  +
|<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | {{rl|Sputtering Recipes|Sputter 4 (AJA ATC 2200-V)}}
  
  +
|[[Thermal Evaporation Recipes|A]]
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| bcolor="EEFFFF" | <br>
 
  +
|[[Thermal Evaporation Recipes|A]]
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
  +
|<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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|<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | {{rl|Atomic Layer Deposition Recipes|Pt deposition (ALD)}}
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
  
 
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! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | Ru
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! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |Pt
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| {{Al/E1}}
 +
| bgcolor="#eeffff" |{{Al/E1}}
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| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
  +
| bgcolor="#eeffff" |{{Al/E3}}
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| <br>
 
−
| {{Al/E4}}
+
| bgcolor="#eeffff" |{{Al/E4}}
  +
| bgcolor="#eeffff" |[[Sputtering Recipes|A]]
−
| <br>
 
  +
| bgcolor="#eeffff" |{{rl|Sputtering Recipes|Sputter 4 (AJA ATC 2200-V)}}
−
| <br>
 
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| <br>
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| bcolor="EEFFFF" |<br>
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| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="#eeffff" |{{rl|Atomic Layer Deposition Recipes|Pt deposition (ALD CHAMBER 1)}}
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| <br>
 
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| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| <br>
 
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| <br>
  
 
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! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | Si
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! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |Ru
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|{{Al/E1}}
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
  +
|<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | {{Al/E2}}
 
  +
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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|{{Al/E4}}
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
  +
|<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
  +
|[[Sputtering Recipes#Ru Deposition .28Sputter 4.29|R]]
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
  +
|<br>
−
| bgcolor="EEFFFF" | [[Sputtering Recipes|A]]
 
  +
|<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | [[Sputtering Recipes|A]]
 
  +
|<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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|<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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|<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
  +
|<br>
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
  +
|{{rl|Atomic Layer Deposition Recipes|Ru deposition (ALD CHAMBER 1)}}
−
| bgcolor="EEFFFF" | {{rl|PECVD Recipes|PECVD 2 (Advanced Vacuum)|Amorphous-Si deposition (PECVD#2|Amorphous Si Films and Their Stress}}
  
  +
|<br>
−
| bgcolor="EEFFFF" | [[PECVD_Recipes#Amorphous_Si_.28100.25SiH4_Ar_He.29|R]]
  
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
  
 
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! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | SiN
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! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |Si
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| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="#eeffff" |{{Al/E2}}
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| <br>
 
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| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="#eeffff" |[[Sputtering Recipes|R]]
−
| <br>
 
  +
| bgcolor="#eeffff" |[[Sputtering Recipes|A]]
−
| <br>
 
  +
| bgcolor="#eeffff" |<br>
−
| {{rl|Sputtering Recipes|SiN deposition (Sputter 3)}}
 
  +
| bgcolor="#eeffff" |<br>[[Sputtering_Recipes#Ion_Beam_Deposition_.28Veeco_NEXUS.29|A]]
−
| [[Sputtering Recipes|A]]
 
−
| <br>
+
| bgcolor="#eeffff" |<br>
  +
| bgcolor="#eeffff" |<br>
−
| [[Sputtering_Recipes#Si3N4_deposition_.28IBD.29|R]]
 
−
| <br>
+
| bgcolor="#eeffff" |<br>
  +
| bgcolor="#eeffff" |[https://wiki.nanotech.ucsb.edu/wiki/index.php/PECVD_Recipes#Amorphous-Si_deposition_.28PECVD_.232.29 R]
−
| <br>
 
  +
| bgcolor="#eeffff" |
−
| {{rl|PECVD Recipes|SiN deposition (PECVD #1)}}
 
  +
| bgcolor="#eeffff" |<br>
−
| {{rl|PECVD Recipes|SiN deposition (PECVD #2)}}
 
  +
| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| {{rl|PECVD Recipes|SiN deposition (Unaxis VLR)}}
 
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| <br>
 
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! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | SiO<sub>2</sub>
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! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |SiN
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|<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | {{Al/E1}}
 
  +
|<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | {{Al/E2}}
 
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|<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
  +
|<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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|{{rl|Sputtering Recipes|SiN deposition (Sputter 3)}}
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
  +
|[[Sputtering Recipes|A]]
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
  +
|<br>
−
| bgcolor="EEFFFF" | {{rl|Sputtering Recipes|SiO2 deposition (Sputter 3)}}
 
  +
|[[Sputtering_Recipes#Si3N4_deposition_.28IBD.29|R]]
−
| bgcolor="EEFFFF" | [[Sputtering Recipes|A]]
 
  +
|<br>
−
| bgcolor="EEFFFF" | [[Sputtering Recipes|A]]
 
  +
|<br>
−
| bgcolor="EEFFFF" | [[Sputtering_Recipes#SiO2_deposition_.28IBD.29|R]]
 
  +
|{{rl|PECVD Recipes|SiN deposition (PECVD #1)}}
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
  +
|{{rl|PECVD Recipes|SiN deposition (PECVD #2)}}
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
−
| bgcolor="EEFFFF" | {{rl|PECVD Recipes|SiO2 deposition (PECVD #1)}}
+
|{{rl|PECVD Recipes|SiN 250C deposition (Unaxis VLR)}}
  +
|<br>
−
| bgcolor="EEFFFF" | {{rl|PECVD Recipes|SiO2 deposition (PECVD #2)}}
 
  +
|<br>
−
| bgcolor="EEFFFF" | {{rl|PECVD Recipes|SiO2 deposition (Unaxis VLR)}}
 
−
| bgcolor="EEFFFF" | {{rl|Atomic Layer Deposition Recipes|SiO2 deposition (ALD)}}
 
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
  
 
|-
  
|-
  +
!SiN - Low Stress
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! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | SiO<sub>x</sub>N<sub>y</sub>
 
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| <br>
 
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| <br>
 
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| <br>
 
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!
−
| [[Sputtering_Recipes#Ion_Beam_Deposition_.28Veeco_NEXUS.29|A]]
 
  +
!{{rl|PECVD Recipes|Low-Stress SiN - LS-SiN (PECVD#1)}}
−
| <br>
 
  +
!{{rl|PECVD Recipes|Low-Stress SiN deposition (PECVD #2)}}
−
| <br>
 
  +
!{{rl|PECVD Recipes|SiN LS 250C Deposition (Unaxis VLR)}}
−
| [[PECVD_Recipes#PECVD_1_.28PlasmaTherm_790.29|R]]
  
  +
!
−
| <br>
 
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| <br>
 
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| <br>
 
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! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | Sn
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! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |SiO<sub>2</sub>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |{{Al/E1}}
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |{{Al/E2}}
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |{{rl|Sputtering Recipes|SiO2 deposition (Sputter 3)}}
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
+
| bgcolor="#eeffff" |[[Sputtering Recipes|A]]
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
+
| bgcolor="#eeffff" |[[Sputtering Recipes|A]]
  +
| bgcolor="#eeffff" |[[Sputtering_Recipes#SiO2_deposition_.28IBD.29|R]]
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
−
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
+
| bgcolor="#eeffff" |{{rl|PECVD Recipes|SiO2 deposition (PECVD #1)}}
−
| bgcolor="EEFFFF" | [[Thermal Evaporation Recipes|A]]
 +
| bgcolor="#eeffff" |{{rl|PECVD Recipes|SiO2 deposition (PECVD #2)}}
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
+
| bgcolor="#eeffff" |{{rl|PECVD Recipes|SiO2 LDR 250C Deposition (Unaxis VLR)}}
  +
| bgcolor="#eeffff" |{{rl|Atomic Layer Deposition Recipes|SiO2 deposition (ALD CHAMBER 3)}}
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
−
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | SrF<sub>2</sub>
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! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |SiO<sub>x</sub>N<sub>y</sub>
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| {{Al/E2}}
 
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| <br>
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|<br>
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|[https://wiki.nanotech.ucsb.edu/wiki/index.php/Sputtering_Recipes#SiOxNy_deposition_.28IBD.29 A]
−
| <br>
 
−
| <br>
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|<br>
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| <br>
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|<br>
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|[[PECVD_Recipes#PECVD_1_.28PlasmaTherm_790.29|R]]
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| <br>
 
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! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | Ta
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! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |Sn
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| bgcolor="EEFFFF" | {{Al/E1}}
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="EEFFFF" | {{rl|Sputtering Recipes|Ta deposition (Sputter 3)}}
 
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| bgcolor="EEFFFF" | [[Sputtering Recipes|A]]
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="#eeffff" |[[Thermal Evaporation Recipes|A]]
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | Ta<sub>2</sub>O<sub>5</sub>
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! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |SrF<sub>2</sub>
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|{{Al/E2}}
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| [[Sputtering_Recipes#Ta2O5_deposition_.28IBD.29|R]]
  
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! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | Ti
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! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |Ta
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| bgcolor="EEFFFF" | {{Al/E1}}
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| bgcolor="EEFFFF" | {{Al/E3}}
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| bgcolor="EEFFFF" | {{Al/E4}}
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |{{rl|Sputtering Recipes|Ta deposition (Sputter 3)}}
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |[[Sputtering Recipes|A]]
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
−
| bgcolor="EEFFFF" | [[Sputtering Recipes|A]] {{rl|Sputtering Recipes|Sputter 3 (AJA ATC 2000-F)}}
  
  +
| bgcolor="#eeffff" |<br>[[Sputtering_Recipes#Ion_Beam_Deposition_.28Veeco_NEXUS.29|A]]
−
| bgcolor="EEFFFF" | {{rl|Sputtering Recipes|Ti-Au Deposition (Sputter 4)}}
 
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|{{Al/E2}}
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| [[Sputtering Recipes|A]]
 
−
| <br>
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|<br>
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|[[Sputtering_Recipes#Ta2O5_deposition_.28IBD.29|R]]
−
| [[Sputtering Recipes|R]]
 
−
| <br>
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|<br>
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|<br>
−
| [[Sputtering_Recipes#Ion_Beam_Deposition_.28Veeco_NEXUS.29|A]]
 
−
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| {{rl|Atomic Layer Deposition Recipes|TiN deposition (ALD)}}
 
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! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | TiW
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! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |Ti
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| bgcolor="EEFFFF" | {{Al/E1}}
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| bgcolor="#eeffff" |{{Al/E1}}
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| bgcolor="#eeffff" |{{Al/E3}}
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| bgcolor="#eeffff" |{{Al/E4}}
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |{{rl|Sputtering Recipes|Sputter 3 (AJA ATC 2000-F)}}
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |{{rl|Sputtering Recipes|Ti-Au Deposition (Sputter 4)}}
−
| bgcolor="EEFFFF" | [[Sputtering Recipes|A]]
+
| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>[[Sputtering_Recipes#Ion_Beam_Deposition_.28Veeco_NEXUS.29|A]]
−
| bgcolor="EEFFFF" | {{rl|Sputtering Recipes|W-TiW Deposition (Sputter 4)}}
 
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|[https://wiki.nanotech.ucsb.edu/wiki/index.php/Sputtering_Recipes#Sputter_4_.28AJA_ATC_2200-V.29 R]
−
| bgcolor="EEFFFF" | {{Rl|Sputtering Recipes|TiO2 deposition (Sputter 2)}}
  
  +
|<br>
−
| bgcolor="EEFFFF" | [[Sputtering Recipes|A]]
 
  +
|[[Sputtering_Recipes#Ion_Beam_Deposition_.28Veeco_NEXUS.29|A]]
−
| bgcolor="EEFFFF" | [[Sputtering Recipes|A]] {{Rl|Sputtering Recipes|TiO<sub>2</sub> Deposition (Sputter 4)}}
  
  +
|<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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|<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | [[Sputtering_Recipes#TiO2_deposition_.28IBD.29|R]]
  
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|<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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|{{rl|Atomic Layer Deposition Recipes|TiN deposition (ALD CHAMBER 3)}}
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | {{rl|Atomic Layer Deposition Recipes|TiO2 deposition (ALD)}}
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
  
 
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! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | V
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! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |TiW
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| bgcolor="#eeffff" |{{Al/E1}}
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| bgcolor="#eeffff" |[[Sputtering Recipes|A]]
−
| <br>
 
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| bgcolor="#eeffff" |{{rl|Sputtering Recipes|W-TiW Deposition (Sputter 4)}}
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| <br>
 
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| [[Sputtering Recipes|A]]
 
  +
| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| [[Sputtering Recipes|A]]
 
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| <br>
 
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! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | W
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! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |TiO<sub>2</sub>
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| bgcolor="EEFFFF" | {{Al/E1}}
+
| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |{{Al/E2}}
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |[[Sputtering Recipes|A]]
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
+
| bgcolor="#eeffff" |{{rl|Sputtering Recipes|Sputter 4 (AJA ATC 2200-V)}}
−
| bgcolor="EEFFFF" | [[Sputtering Recipes|A]]
+
| bgcolor="#eeffff" |<br>
  +
| bgcolor="#eeffff" |[[Sputtering_Recipes#TiO2_deposition_.28IBD.29|R]]
−
| bgcolor="EEFFFF" | {{rl|Sputtering Recipes|W deposition (Sputter 4)}}
  
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="#eeffff" |{{rl|Atomic Layer Deposition Recipes|TiO2 deposition (ALD CHAMBER 3)}}
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
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! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | Zn
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! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |V
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| <br>
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|[[Sputtering Recipes|A]]
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| <br>
 
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|[[Sputtering Recipes|A]]
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| [[Thermal Evaporation Recipes|A]]
 
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| [[Thermal Evaporation Recipes|A]]
 
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! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | ZnO
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! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |W
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |{{Al/E1}}
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |[[Sputtering Recipes|A]]
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |{{rl|Sputtering Recipes|W deposition (Sputter 4)}}
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | {{rl|Atomic Layer Deposition Recipes|ZnO deposition (ALD)}}
 
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
  
 
|-
  
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−
! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | Zr
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! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |Zn
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| {{Al/E1}}
 
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| <br>
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| {{Al/E4}}
 
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|<br>
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| [[Sputtering Recipes|A]]
 
  +
|<br>
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| [[Sputtering Recipes|A]]
 
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|[[Thermal Evaporation Recipes|A]]
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| <br>
 
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|[[Thermal Evaporation Recipes|A]]
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! bgcolor="#D0E7FF" align="center" | ZrO<sub>2</sub>
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! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |ZnO
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
+
| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="EEFFFF" | <br>
+
| bgcolor="#eeffff" |<br>
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
+
| bgcolor="#eeffff" |<br>
  +
| bgcolor="#eeffff" |{{rl|Atomic Layer Deposition Recipes|ZnO:Al deposition (ALD CHAMBER 1)}}
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
 
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
+
| bgcolor="#eeffff" |<br>
−
| bgcolor="EEFFFF" | {{rl|Atomic Layer Deposition Recipes|ZrO2 deposition (ALD)}}
 
−
| bgcolor="EEFFFF" | <br>
  
 
|-
  
|-
−
! width="20" bgcolor="#D0E7FF" align="center" | '''Material'''
+
! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |Zr
  +
|{{Al/E1}}
−
| width="65" bgcolor="#DAF1FF" | [[E-Beam Evaporation Recipes#E-Beam_1_.28Sharon.29|E-Beam 1 (Sharon)]]
 
  +
|<br>
−
| width="65" bgcolor="#DAF1FF" | [[E-Beam Evaporation Recipes#E-Beam_2_.28Custom.29|E-Beam 2 (Custom)]]
 
  +
|<br>
−
| width="65" bgcolor="#DAF1FF" | [[E-Beam Evaporation Recipes#E-Beam_3_.28Temescal.29|E-Beam 3 (Temescal)]]
 
  +
|{{Al/E4}}
−
| width="65" bgcolor="#DAF1FF" | [[E-Beam Evaporation Recipes#E-Beam_4_.28CHA.29|E-Beam 4 (CHA)]]
 
−
| width="65" bgcolor="#DAF1FF" | [[Sputtering Recipes#Sputter_1_.28Custom.29|Sputter 1 (Custom)]]
+
|[[Sputtering Recipes|A]]
−
| width="65" bgcolor="#DAF1FF" | [[Sputtering Recipes#Sputter_2_.28SFI_Endeavor.29|Sputter 2<br>(SFI Endeavor)]]
+
|[[Sputtering Recipes|A]]
  +
|<br>
−
| width="65" bgcolor="#DAF1FF" | [[Sputtering Recipes#Sputter_3_.28ATC_2000-F.29|Sputter 3<br>(ATC 2000-F)]]
 
  +
|<br>
−
| width="65" bgcolor="#DAF1FF" | [[Sputtering_Recipes#Sputter_4_.28AJA_ATC_2200-V.29|Sputter 4<br>(ATC 2200-V)]]
 
  +
|<br>
−
| width="65" bgcolor="#DAF1FF" | [[Sputtering Recipes#Sputter_5_.28Lesker_AXXIS.29|Sputter 5 (Lesker AXXIS)]]
 
  +
|<br>
−
| width="55" bgcolor="#DAF1FF" | [[Sputtering_Recipes#Ion_Beam_Deposition_.28Veeco_NEXUS.29|Ion Beam<br>Deposition (Veeco Nexus)]]
 
  +
|<br>
−
| width="45" bgcolor="#DAF1FF" | [[Thermal Evaporation Recipes#Thermal_Evap_1|Thermal<br>Evap 1]]
 
  +
|<br>
−
| width="65" bgcolor="#DAF1FF" | [[Thermal Evaporation Recipes#Thermal_Evap_2_.28Solder.29|Thermal Evap 2 (Solder)]]
 
  +
|<br>
−
| width="65" bgcolor="#DAF1FF" | [[PECVD Recipes#PECVD_1_.28PlasmaTherm_790.29|PECVD 1<br>(PlasmaTherm 790)]]
 
  +
|<br>
−
| width="65" bgcolor="#DAF1FF" | [[PECVD Recipes#PECVD_2_.28Advanced_Vacuum.29|PECVD 2<br>(Advanced Vacuum)]]
 
  +
|<br>
−
| width="65" bgcolor="#DAF1FF" | [[PECVD_Recipes#ICP-PECVD_.28Unaxis_VLR.29|Unaxis VLR ICP-PECVD]]
 
  +
|-
−
| width="65" bgcolor="#DAF1FF" | [[Atomic_Layer_Deposition_Recipes|Atomic Layer Deposition (Oxford FlexAl)]]
 
  +
! bgcolor="#d0e7ff" align="center" |ZrO<sub>2</sub>
−
| width="65" bgcolor="#DAF1FF" | [[Molecular Vapor Deposition|Molecular Vapor Deposition (Tool)]]
  
  +
| bgcolor="#eeffff" |<br>
  +
| bgcolor="#eeffff" |<br>
  +
| bgcolor="#eeffff" |<br>
  +
| bgcolor="#eeffff" |<br>
  +
| bgcolor="#eeffff" |<br>
  +
| bgcolor="#eeffff" |<br>
  +
| bgcolor="#eeffff" |<br>
  +
| bgcolor="#eeffff" |<br>
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| bgcolor="#eeffff" |<br>
  +
| bgcolor="#eeffff" |<br>
  +
| bgcolor="#eeffff" |<br>
  +
| bgcolor="#eeffff" |<br>
  +
| bgcolor="#eeffff" |<br>
  +
| bgcolor="#eeffff" |{{rl|Atomic Layer Deposition Recipes|ZrO2 deposition (ALD CHAMBER 3)}}
  +
| bgcolor="#eeffff" |<br>
  +
|-
  +
! width="20" bgcolor="#d0e7ff" align="center" |'''Material'''
  +
| width="65" bgcolor="#daf1ff" |[[E-Beam Evaporation Recipes#E-Beam_1_.28Sharon.29|E-Beam 1 (Sharon)]]
  +
| width="65" bgcolor="#daf1ff" |[[E-Beam Evaporation Recipes#E-Beam_2_.28Custom.29|E-Beam 2 (Custom)]]
  +
| width="65" bgcolor="#daf1ff" |[[E-Beam Evaporation Recipes#E-Beam_3_.28Temescal.29|E-Beam 3 (Temescal)]]
  +
| width="65" bgcolor="#daf1ff" |[[E-Beam Evaporation Recipes#E-Beam_4_.28CHA.29|E-Beam 4 (CHA)]]
  +
| width="65" bgcolor="#daf1ff" |[[Sputtering Recipes#Sputter_3_.28ATC_2000-F.29|Sputter 3<br>(ATC 2000-F)]]
  +
| width="65" bgcolor="#daf1ff" |[[Sputtering_Recipes#Sputter_4_.28AJA_ATC_2200-V.29|Sputter 4<br>(ATC 2200-V)]]
  +
| width="65" bgcolor="#daf1ff" |[[Sputtering Recipes|Sputter 5 (ATC 2200-V)]]
  +
| width="55" bgcolor="#daf1ff" |[[Sputtering_Recipes#Ion_Beam_Deposition_.28Veeco_NEXUS.29|Ion Beam<br>Deposition (Veeco Nexus)]]
  +
| width="45" bgcolor="#daf1ff" |[[Thermal Evaporation Recipes#Thermal_Evap_1|Thermal<br>Evap 1]]
  +
| width="65" bgcolor="#daf1ff" |[[Thermal Evaporation Recipes#Thermal_Evap_2_.28Solder.29|Thermal Evap 2 (Solder)]]
  +
| width="65" bgcolor="#daf1ff" |[[PECVD Recipes#PECVD_1_.28PlasmaTherm_790.29|PECVD 1<br>(PlasmaTherm 790)]]
  +
| width="65" bgcolor="#daf1ff" |[[PECVD Recipes#PECVD_2_.28Advanced_Vacuum.29|PECVD 2<br>(Advanced Vacuum)]]
  +
| width="65" bgcolor="#daf1ff" |[[PECVD_Recipes#ICP-PECVD_.28Unaxis_VLR.29|Unaxis VLR ICP-PECVD]]
  +
| width="65" bgcolor="#daf1ff" |[[Atomic_Layer_Deposition_Recipes|Atomic Layer Deposition (Oxford FlexAl)]]
  +
| width="65" bgcolor="#daf1ff" |[[Molecular Vapor Deposition|Molecular Vapor Deposition (Tool)]]
 
|}
  
|}
   

Revision as of 10:49, 12 January 2021

  • R = Recipe is available. Clicking this link will take you to the recipe.
  • A = Material is available for use, but no recipes are provided.
Vacuum Deposition Recipes

 E-Beam Evaporation Sputtering Thermal Evaporation Plasma Enhanced Chemical
Vapor Deposition (PECVD) 		Atomic Layer Deposition Molecular Vapor Deposition
Material E-Beam 1 (Sharon) E-Beam 2 (Custom) E-Beam 3 (Temescal) E-Beam 4 (CHA) Sputter 3
(AJA ATC 2000-F) 		Sputter 4
(AJA ATC 2200-V) 		Sputter 5 (AJA ATC 2200-V) Ion Beam
Deposition (Veeco Nexus) 		Thermal
Evap 1 		Thermal Evap 2 (Solder) PECVD 1
(PlasmaTherm 790) 		PECVD 2
(Advanced Vacuum) 		Unaxis VLR ICP-PECVD Atomic Layer Deposition (Oxford FlexAL) Molecular Vapor Deposition (Tool)
Ag A
A A A A








Al A
A A A R

A 		A A




Al2O3 A A

A R
R




R
AlN



A A
A




R
Au A
A A A R

A A




B














C R
CeO2
R












Co A

A R









Cr A

A R


A A




Cu A


R A








Fe A

A R









Ge A
A A A A








GeO2 A
Gd A

A










Hf A













HfO2



A A






R
In








A




Ir A













ITO
R

A A
A






MgF2 A A
MgO A
Mo A


R A








Nb A



R








Nd



A








Ni A
A A R


A A




NiCr A A
NiFe A A A
Pd A
A A



A A




Pt A
A A A R






R
Ru A

A
R






R
Si
A

R A

A


R

SiN



R A
R

R R R

SiN - Low Stress R R R
SiO2 A A

R A A R

R R R R
SiOxNy






A

R



Sn








A




SrF2
A












Ta A


R A

A






Ta2O5


A


R






Ti A
A A R R

A






TiN




R
A




R
TiW A


A R








TiO2
A

A R
R




R
V



A A








W A


A R








Zn







A A




ZnO












R
Zr A

A A A








ZrO2












R
Material E-Beam 1 (Sharon) E-Beam 2 (Custom) E-Beam 3 (Temescal) E-Beam 4 (CHA) Sputter 3
(ATC 2000-F) 		Sputter 4
(ATC 2200-V) 		Sputter 5 (ATC 2200-V) Ion Beam
Deposition (Veeco Nexus) 		Thermal
Evap 1 		Thermal Evap 2 (Solder) PECVD 1
(PlasmaTherm 790) 		PECVD 2
(Advanced Vacuum) 		Unaxis VLR ICP-PECVD Atomic Layer Deposition (Oxford FlexAl) Molecular Vapor Deposition (Tool)
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