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SiN deposition (PECVD #1)
SiO2 deposition (PECVD #1)
SiOxNy deposition (PECVD #1)
SiO2 deposition (PECVD #2)
SiN deposition (PECVD #2)
LS SiN deposition (PECVD #2)
Amorphous-Si deposition (PECVD #2)
SiN deposition (Unaxis VLR)
SiN (2% SiH4)
50° (pinholes)
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100° (pinholes)
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250°
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SiN (2% SiH4 - No-Ar)
50° (pinholes)
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100° (pinholes)
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250°
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50° (pinholes)
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100° (pinholes)
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250°
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SiN (100% SiH4 )
50° (pinholes)
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100° (pinholes)
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250°
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SiO2 deposition (Unaxis VLR)
SiO2 (2% SiH4)
SiO2 (2% SiH4 - No Ar)
SiO2 (100% SiH4 HDR)
SiO2 (100% SiH4 LDR)
Amorphous Si (100%SiH4 Ar He)