Difference between revisions of "Dry Etching Recipes"
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Revision as of 10:34, 18 July 2012
Dry Etching Recipes
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|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| RIE Etching | ICP Etching | ||||||||
| Material | RIE 1 | RIE 2 | RIE 3 | RIE 5 | Si Deep RIE | ICP Etch 1 | ICP Etch 2 | UNAXIS VLR | |
| Al | |||||||||
| Ti | |||||||||
| Cr | |||||||||
| Ge | |||||||||
| Ag | |||||||||
| Ru | |||||||||
| Mo | |||||||||
| Ta | |||||||||
| W | |||||||||
| Al2O3 | |||||||||
| HfO2 | |||||||||
| ITo | |||||||||
| SiO2 | |||||||||
| SiN | |||||||||
| SiOxNy | |||||||||
| Ta2O5 | |||||||||
| TiO2 | |||||||||
| TiN | |||||||||
| ZnO2 | |||||||||
| ZrO2 | |||||||||
| GaAs | |||||||||
| AlGaAs | |||||||||
| InGaAlAs | |||||||||
| InGaAsP | |||||||||
| InP | |||||||||
| GaN | |||||||||
| AlGaN | |||||||||
| AlN | |||||||||
| GaN | |||||||||
| AlGaN | |||||||||
| AlN | |||||||||
| GaSb | |||||||||
| CdTe | |||||||||
| ZnSe | |||||||||
| Si | |||||||||
| SiC | |||||||||
| Sapphire | |||||||||