Difference between revisions of "Dry Etching Recipes"
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Revision as of 10:34, 18 July 2012
Dry Etching Recipes
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RIE Etching | ICP Etching | ||||||||
Material | RIE 1 | RIE 2 | RIE 3 | RIE 5 | Si Deep RIE | ICP Etch 1 | ICP Etch 2 | UNAXIS VLR | |
Al | |||||||||
Ti | |||||||||
Cr | |||||||||
Ge | |||||||||
Ag | |||||||||
Ru | |||||||||
Mo | |||||||||
Ta | |||||||||
W | |||||||||
Al2O3 | |||||||||
HfO2 | |||||||||
ITo | |||||||||
SiO2 | |||||||||
SiN | |||||||||
SiOxNy | |||||||||
Ta2O5 | |||||||||
TiO2 | |||||||||
TiN | |||||||||
ZnO2 | |||||||||
ZrO2 | |||||||||
GaAs | |||||||||
AlGaAs | |||||||||
InGaAlAs | |||||||||
InGaAsP | |||||||||
InP | |||||||||
GaN | |||||||||
AlGaN | |||||||||
AlN | |||||||||
GaN | |||||||||
AlGaN | |||||||||
AlN | |||||||||
GaSb | |||||||||
CdTe | |||||||||
ZnSe | |||||||||
Si | |||||||||
SiC | |||||||||
Sapphire |